上海拓精工業測定儀器有限公司
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大尺寸檢測顯微鏡
適用于大尺寸樣品的 Axio Imager Vario
ZEISS Axio Imager Vario
檢測大尺寸樣品 – 擁有自動聚焦系統
Axio Imager Vario 專為研究、開發及質量控制領域中的樣品檢測而設計 – 從最小的 MEMS 傳感器到超大晶圓。最高可達 254 mm 的超大樣品空間和最寬可達 300 mm 的橫向縱向移動范圍,保證了在測量大樣品時不損壞樣品。一體的機柱設計確保了穩定性。利用驅動 Z 軸的電動馬達與 Auto Focus 自動聚焦硬件,將低對比度的反射樣品自動調整至最佳聚焦位置,始終呈現理想的檢測結果。
更簡單、更智能、更高度集成。
擴展樣品空間
兩種手動和一種電動機柱可供選擇,充分利用顯微鏡最大 300 mm 橫向與縱向移動距離和最高254 mm 垂直深度的優勢。無論是檢測較重的樣品,或與 LSM 700 激光掃描顯微鏡組合使用 –結實的機柱使其具有穩定性高和無震動的特點。選擇適用于反射光與透射光的各種載物臺及樣品夾,讓您的應用擴展無極限。
隨時實現精準自動聚焦
集成有 Auto Focus 快速自動聚焦硬件系統的Axio Imager Vario 可用于高反射、低對比度樣品的表面檢測。聚焦系統能夠保證聚焦精度達到所使用物鏡景深的 0.3 倍,且適用于反射光與透射光應用。當傳感器檢測到聚焦位置發生微小變化時,系統快速自動補償偏差。即便是大尺寸樣品,在 XY 方向上也能實現精準聚焦。
自動聚焦功能
集成有 Auto Focus 自動聚焦硬件系統的 Axio Imager Vario 能夠在高達 12000 µm 的焦點捕獲范圍內實現快速精準的聚焦。該自動聚集硬件適合于使用反射光、透射光、明場、暗場、偏光、微分干涉相差及斜照明觀察方式的應用。